爱发科推出半导体设备耐腐蚀处理服务
2021/04/25
半导体
VACAL-Z把要表面处理的对象物浸入电解液中，作为阳极加载电压。如果加载比普通氧化铝覆膜处理更高的电压，会引起电击穿，同时覆膜生长，形成有无数小孔的构造。
VACAL-Z表面处理技术是爱发科从大约10年前，开始面向自家平板显示器制造设备开发的。其间接到了很多客户的咨询，想把这一技术应用于其他企业的设备上。受此影响，爱发科最近已开始提供此项服务。VACAL-Z技术可以应用于内部真空的反应室部件、加热器、气体扩散板等。价格根据对象物的面积、形状、处理数量及覆膜厚度等确定。
日本经济新闻（中文版：日经中文网）佐藤雅哉
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