NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　日本半导体制造设备厂商东京电子受到旺盛的半导体需求推动，业绩正在增长。这是因为随着5G的普及，新一代半导体的需求增加，制造设备的洽购增多。今后还需要采取面向去碳化的措施。日本经济新闻（中文版：日经中文网）记者针对经营战略采访了该公司的社长河合利树。

　　记者：半导体行情火爆。请您谈谈前景。

　　河合利树：2020年是朝着中长期增长稳步前进的一年。面向最尖端的半导体制造技术“EUV（极紫外）光刻”，在涂布显影设备（Coater Developer）领域，我们维持了100％的全球份额。在本公司具有优势的成膜、蚀刻和清洗等对微细化十分重要的曝光工序上，有助于扩大份额的评价也在稳步提高。正在朝着达成（营业收入最多达到2万亿日元的）中期经营计划顺利迈进。

河合利树

　　2020年的半导体前工序制造设备市场创出历史新高，2021年保持进一步增长近2成的势头。在信息通信技术（ICT）在全球范围不断得到应用的背景下，半导体的重要性进一步提升。为了满足半导体器件高性能化带来的制造设备需求，今后将积极投入开发费用。

　　记者：是否受到新冠疫情的影响？

　　河合利树：在赴海外存在限制的情况下，借助与海外当地法人和工厂的合作、远程支持、顺畅的物流、零部件库存的优化，按计划装配了超过上年的设备，这是一个成果。在新冠疫情下，再次确认了经验与技术实力、来自客户的信赖、能灵活应对变化的员工和挑战精神。

　　记者：是否采取了确保资金等应对风险的措施？

　　河合利树：为了在任何状况下都能推进持续的增长投资，在平时就以稳健的财务基础拓展业务。目前在交易方面没有受到新冠疫情的影响。不过同时采取了（与金融机构签署）信贷额度协议等应对风险的措施。

　　记者：负责运算的逻辑半导体的需求坚挺。

　　河合利树：随着用途的扩大，逻辑半导体需求维持坚挺，对设备的投资活跃。（用于智能手机和个人电脑等的）DRAM受新冠疫情影响，2020年春季前后，各IT企业因担心采购问题而增加了库存。设备投资呈现调整态势，但由于面向5G手机、个人电脑和数据中心的需求，DRAM的库存正在减少，设备投资或许也会不断恢复。

　　记者：迈向去碳化的趋势正在加速。

　　河合利树：我们正在3个方面采取行动。第一是在信息通信技术上，降低耗电量越来越重要，我们将借助生产低耗电量器件的设备技术来作出贡献。第二是随着设备投入运行，到2030年使每片晶圆的二氧化碳排放量比2018年减少30％。最后，在各业务基地利用可再生能源，把二氧化碳总排放量比2018年减少70％。

　　记者：如何推进数字化转型的措施？

　　河合利树：2020年11月搬迁札幌事务所，开设了TEL数字设计园区。力争通过测量处理晶圆的反应室的微妙状态变化、利用虚拟测量技术全面检测晶圆，改善设备的开工率和成品率。在解决现场问题方面，借助远程支持等不断提供迅速的技术支援。

　　记者为日本经济新闻（中文版：日经中文网）佐藤雅哉