NIKKEI——日本经济新闻中文版

       佳能9月5日发布消息称，已开始提供负责半导体制造核心工序的光刻设备的运行支持系统。除了能实时分析设备状态外，还具备出现异常时自动恢复及提供最佳制造条件的功能。据悉可将客户的业务效率提高3成以上。佳能将向希望提高业务效率和生产效率的日本国内外半导体厂商销售该系统。

可以通过画面一览各设备的运行情况（示意图）

       此次开始提供的系统可以将设备联网，通过画面确认整体运行情况。能够根据传感器的信息等检测到异常前兆及异常发生，予以提醒，设备即使停机也能自动恢复。

       需要人工恢复时，会显示操作手册，并且佳能的技术人员会远程提供支持，帮助顺利恢复。还配备有分析设备停机原因及为提高生产效率而提供改善方案的功能。

       佳能从事半导体光刻设备已有50年以上，该公司的超过3000台设备在全球运行。该公司充分运用积累的数据，配备了根据产品来优化对准及控制设定等的功能。

       佳能过去也为客户使用设备提供支持，此次是首次提供涵盖多种功能的综合性系统。