NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　尼康3月24日发布消息称，将于4月上旬推出可以显示极微细影像的平板显示器（FPD）曝光设备。该设备能制造高分辨率的大屏幕显示器，还提高了生产效率。设想生产高画质的可折叠智能手机及大屏幕电视等多种FPD产品。考虑以中国市场等为中心进行销售。

尼康“第8代”高精细FPD曝光设备“FX-88S”

　　新上市的FPD曝光设备名为“FX-88S”。使高分辨率、拥有量产经验的、面向“第6代”基板的曝光设备的投影镜头，去支持尺寸大的“第8代”基板。采用多镜头系统，实现了大面积统一曝光。通过支持更大的玻璃基板，有利于生产画面尺寸大的显示器。

　　通过沿用第6代基板的曝光设备采用的高精度焦点修正系统，整面基板都可以保持均一的线宽。还可以适应基板的弯曲，提高了成品率。基板台的驱动速度比原机型提高了30％，生产效率也更高。