NIKKEI——日本经济新闻中文版

      日本半导体制造设备大型厂商东京电子将发售用于智能手机等配备的高分辨率显示屏的蚀刻设备。采用可对OLED面板的玻璃基板进行均匀处理的方法，能以较高的密度形成电路图案。预计将有助于OLED面板提高分辨率、降低耗电量和提高功能等。

用于高分辨率显示屏的等离子蚀刻设备“Impressio 1800 PICP Pro”

      新产品“Impressio 1800 PICP Pro”和“Betelex 1800 PICP Pro”是支持“第6代”（1500毫米×1850毫米）中小型面板用基板的等离子蚀刻设备。除了可支持较大的基板尺寸之外，处理基板的容器数量也各不相同。

      东京电子自主开发出了高密度等离子体源，为了实现高精度蚀刻，还提高了处理精度。可抑制对产品成品率产生不良影响的微小灰尘和异物等的产生，提高生产效率。

      目前东京电子正在与面板客户企业商讨销售事宜，预计最快将于2021年内交货。

      智能手机的显示屏被认为今后有望支持指纹识别功能等，在技术上将不断进步。