NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　随着最尖端的极紫外线光刻设备的普及，周边的半导体制造设备和原材料领域也将发生更新换代。

　　其象征是涉足测试设备的日本Lasertec公司。该公司2019年在世界上首次使检测极紫外线光掩膜缺陷的设备实现实用化，股价在1年里涨至4倍。

　　光掩膜是起到犹如照片“底片”的作用的零部件。如果出现细微的缺陷等，半导体的电路就无法正常形成。Lasertec的检测设备每台高达80多亿日元，但赢得了大型企业的积极洽购。Lasertec预计2020财年（截至2020年6月）的合并净利润比上年增长69％，达到100亿日元。

　　此外，大型半导体制造设备厂商东京电子和SCREEN控股也将增加应对极紫外线的设备的供货。电路越是变得微细，成形和清洗等越困难。东京电子等希望与半导体厂商携手开发新一代制造设备、提高市场份额，甩开竞争对手。

　　与此同时，行业重组的氛围也在加强。豪雅（HOYA）2019年12月对东芝的上市子公司、涉足半导体制造设备的NuFlare Technology尝试发起敌意TOB（公开要约收购）。虽然最终并未成功，但在大型半导体厂商加速采购极紫外线相关设备的背景下，豪雅希望借助收购提升乘积效应。

　　半导体制造工艺的进步将加快相关企业的优胜劣汰。在20世纪，尼康和佳能凭借旧方式的光刻设备席卷世界。但2000年代它们在与ASML的竞争中落败。因在极紫外线方式的开发竞争中失败而撤退。

　　台积电和三星电子正在利用极紫外线光刻设备量产线宽7纳米的半导体。一方面，英特尔在上一代10纳米产品的量产化方面耽误了时间。即使是在半导体3强之中，芯片的开发竞争也在产生差距。各厂商2020年增加设备投资是对更新换代充满危机感的证明。

　　新型冠状病毒成为增长的包袱

　　有可能对半导体的增长造成打击的是新型冠状病毒疫情。