三星试用韩国产氟化氢 应对日本出口管制
2019/09/05
韩国三星电子开始在量产半导体的生产线上使用韩国产氟化氢一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加强3种半导体材料的出口管理以后，三星一直反复测试日本以外的替代品。有分析认为将在一部分量产线上试用，确认是否存在问题。
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| 三星电子的半导体工厂 |
三星电子相关人士9月4日承认，“作为推进供给来源多元化的一环，正在一部分生产线上推进非日本造（氟化氢）的测试”。
行业相关人士透露，三星自8月下旬起，开始在一条生产线上使用韩国企业供应的氟化氢。氟化氢被用于晶圆的清洗等，三星将首先在对品质影响较小的工序上采用非日本造氟化氢。
此次投入量产线的是从中国进口、由韩国企业加工的氟化氢。不过，三星没有透露企业名等详细情况。SK海力士也在评估非日本造产品能否用于量产线。
韩国氟化氢的最大进口来源地是中国，但如果仅限于用于生产半导体的超高纯度产品，日本的Stella Chemifa和森田化学工业几乎掌握9成份额。日本企业从中国进口原料，在日本的工厂提高纯度之后向韩国出口。
不过，三星对于是否全面采用日本造以外的氟化氢仍持慎重态度。日本政府8月底批准了氟化氢的出口。半导体产业相关人士强调称，“如果日本造能稳定供应，将继续使用。此次措施是应对日本不再供给的事态的举措之一”。
日本经济新闻（中文版：日经中文网）铃木壮太郎 首尔报道
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