NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　日本化工厂商宇部兴产将把半导体清洗用药液的产能到2027年度增至2021年度的2倍。目前由于旺盛的半导体需求，工厂处于满负荷运转状态。宇部兴产将向日本国内半导体和硅晶圆企业供货。为应对日本国内今后的半导体材料需求增加，决定增强产能。

宇部兴产将增强用于晶圆清洗的硝酸药液的生产设备

　　将在山口县宇部市的宇部化工厂增建硝酸药液的生产线，这种药液被用于清洗去除附着在晶圆上的微细颗粒物。具体投资额没有透露。宇部兴产采用该工厂生产的氨气，制造高纯度硝酸，制成药液。硝酸药液还被用于加工晶圆的蚀刻工序。

　　宇部兴产的硝酸药液占据日本国内5成以上市场份额。该公司2020年把这处工厂的硝酸药液产能增加约3成，目前仍处于满负荷运转状态。据称通过增产，宇部兴产在这一领域占据的日本国内份额将增至6成。