佳能出半导体纳米压印新装置,能造5纳米产品
2023/10/17
佳能推出了半导体制造工序中在晶圆上绘制电路装置的新产品。该装置使用被称为“Nano-imprint(纳米压印)”的新技术,能够以低成本、低能耗来制造智能手机和数据中心等所需要的最尖端半导体。
在晶圆上绘制电路时,一般采用被称为曝光装置的基于光技术的设备。Nano-imprint与以往的曝光工艺不同,采用像盖章一样绘制电路的方式,由于生产工艺简单,可以减少设备投资额。
佳能推出的纳米压印技术的半导体制造新装置 |
为了向市场投放新装置,曝光装置生产企业佳能2014年就开始进行持续研发。与铠侠(Kioxia)和大日本印刷合作,以实现实用化为目标,进行了大力开发。
半导体要提高性能,需要制作出更微细的线宽。新装置可以制造尖端半导体“5纳米产品”。目前,要量产几纳米(1纳米是十亿分之一米)以上电路的半导体,必须使用荷兰阿斯麦(ASML)垄断的采用“极紫外光(EUV)”技术的装置。但这种装置存在的课题是价格昂贵、耗电量大。
据称,由于Nano-imprint不使用光,因此耗电量小,还能够减排二氧化碳。据说已经有多家半导体厂商在考虑引入该装置。佳能表示“希望在客户的量产线上切实提高良品率,将进一步改进装置”。
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