NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　从9月底的库存来看，9家半导体制造设备企业的合计为205亿美元。同比增加9％，但低于营业收入的增速（增长3成）。观察构成可以发现，半成品库存（可持续比较的6家合计）增加43％，但完成品的库存减少10％。可见虽然正在利用确保的零部件进行组装，但核心零部件短缺，无法生产最终产品。

　　用于生产半导体制造设备的半导体多为上代产品。从上代产品来看，汽车厂商等也在加快确保用量。半导体制造设备企业的采购量比汽车厂商少，在求购时输给汽车厂商也是实情。  

半导体制造设备厂商（资料图）

　　爱德万的社长吉田芳明表示，“如果不（向半导体制造设备）优先供货，半导体厂商将无法充分生产半导体”。爱德万的董事全体出动，推进与半导体厂商的订货谈判。

　　半导体制造设备企业在2016～2018年等硅周期的繁荣期，经历了螺丝等各种零部件短缺。虽然推进寻找替代供应商和改变性能等措施，但此次零部件短缺的严重史无前例。

　　台积电计划在2023年之前推进11万亿日元的设备投资。如果半导体制造设备的生产迟缓，有可能对半导体厂商的投资造成影响。

　　注：统计对象为应用材料公司（AMAT）、阿斯麦（ASML）、泛林集团（Lam Research）、科磊（KLA）、泰瑞达（Teradyne）、东京电子、爱德万、迪思科、SCREEN控股9家企业。东京电子2021财年的营业收入计算标准变更的影响体现到存货上。