NIKKEI——日本经济新闻中文版

       在半导体电路形成所必需的“感光材料”领域，日本东洋合成工业的市场份额居全球首位，股价正在迅速上涨。2019年初股价仅为800日元水平，2020年上涨至1万日元以上，处于高点附近。投资者热切关注着支持最尖端半导体微细化技术“EUV（极紫外光刻）”的感光材料。东洋合成这家销售额约为250亿日元的日本中坚企业拥有压倒性的竞争力，其背后是对品质的极致追求。

       不锈钢地板

       在日本千叶县利根川河口附近一条飘着养猪场气味的幽静道路尽头，有一座尖端感光材料工厂。这就是东洋合成的千叶工厂。走进工厂，映入眼帘的是一片广阔的“银色世界”，与周围绿意盎然的风景形成鲜明对比。这里到处都是不锈钢，连地板都用不锈钢铺设，除释放人体积累的静电、防止发生事故外，还可避免建筑材料产生灰尘。

       感光材料是对特定波长的光产生化学反应的材料。日本合成橡胶（JSR）和东京应化工业等光刻胶企业在溶剂中混合少量感光材料和树脂，制成光刻胶。在半导体基板上涂上薄薄一层光刻胶，向特定部分照射光线，便可按照设计图形成电路。

       要实现高速通信标准“5G”的实用化和普及自动驾驶汽车，半导体需要进一步提高功能。关键因素就是基于EUV技术的电路微细化。该技术已被美国苹果的新款智能手机iPhone 12采用。最尖端的电路线宽为5纳米，比新冠病毒还要细，只有头发的万分之一。哪怕是混入些微的杂质，电路也会发生错乱，导致半导体变成次品。

       这就要求感光材料也对EUV的光产生化学反应。在面向EUV的感光材料领域，东洋合成拥有全球超过5成的份额。在众多感光材料厂商中，面向EUV的感光材料能够达到实用水平的企业十分有限。

       为了在狭小的布线范围内发生理想的化学反应，面向EUV的感光材料具有复杂的内部结构。生产时需添加具有各种功能的物质，比如为避免化学反应连锁式扩大而进行抑制等。而且还要在添加功能的所有阶段都保持很高的品质。东洋合成的社长木村有仁表示，“用日本酒来比喻的话，就是在大米研磨、发酵、制成大吟酿的各个阶段都不能掺杂质，要制作纯正的产品”。

       东洋合成的感光材料采用以下工序生产。首先使化学品发生反应并结晶。然后从中分离出制造产品所需的成分，再进行干燥即可完成。虽然文字描述看似简单，但所有工序都凝聚了长年积累起来的技术经验。除了要具备温度和压力等最佳条件之外，还要尽量避免杂质混入，并磨炼出即使有杂质混入也能清除的技术。很多作业都非常耗费工夫，但千叶工厂厂长林孝雄表示，“精益求精才能生产出面向尖端技术的感光材料”。

       面向尖端产品的感光材料“具有黄金一般的价值”（林孝雄），在品质管理上也尤其严格。每次推出新产品时，都会在销售之前进行反复试制，以确认每次都能制成同样的产品。尖端产品的试制次数更多，有时甚至需要反复进行5次左右。每次试制时都会对生产过程中的重要要素进行确认，以保证能够准确无误地制造出复杂的产品。