NIKKEI——日本经济新闻中文版

     日本半导体制造设备企业相继展开在客户附近新建和扩建研发基地的动向。日立高新技术（Hitachi High-Technologies）将在美台韩这3个国家和地区投入数百亿日元。这是因为半导体制造技术的难度正在逐年提高，日趋需要与美国英特尔等尖端半导体企业更加密切地展开联合开发。另一方面，各设备企业的投资负担随之增加，将不得不通过体力决出胜负。

    回应英特尔等“三巨头”的要求

      “工厂的开工率能在多大程度上提高？”“希望进一步加快开发”，日立高新技术在美国西部俄勒冈州建设了最新的研发设施。以英特尔为代表的客户每天赶来进行磋商。

日立高新技术在美国建立的新基地

      该设施2022年秋季投入运行。集中和扩建了该州内原有的3处研发基地。客户可自由使用日立高新技术推出的形成半导体电路的设备以及电路检测的演示机。与英特尔的尖端半导体工厂距离约10分钟车程。

     大型半导体厂商经常描绘5～6年后的技术愿景。包括电路线宽的微细化以及将芯片纵向堆叠起来的三维结构等。日立高新技术以约300名工程师等的体制调查需求，致力于新设备的开发和技术改良。

      不仅是美国。在拥有世界最大半导体代工厂商台积电（TSMC）的台湾，日立高新技术将在2023年度内扩建研发基地，还将在三星电子等所在的韩国新建基地。将以强大的阵容服务于作为最重要客户的“半导体三巨头”。

      在3个国家和地区的投资额预计达到数百亿日元。“与客户密切合作、不断磨练技术的重要性正在提高”，在日立高新技术负责半导体制造设备业务战略的北条穣如此表示。

      日立高新技术的主要研发基地位于日本茨城县和山口县。从海外的客户处将晶圆的半导体基板运到日本国内，通过设备进行试制，这需要约数周时间。由于晶圆包含机密信息，国际间运输等非常麻烦。

      涉足晶圆成膜设备等的KOKUSAI ELECTRIC正在韩国西部的平泽扩建基地，力争2023年内投产。将投入数十亿日元扩建清洁车间，使之具备全面的开发功能。

KOKUSAI ELECTRIC打算使之具备全面的开发功能的韩国工厂

      在乘车1小时以内的距离，汇聚了三星和SK海力士的工厂。此前将晶圆运到KOKUSAI的富山县的研发基地，在开发和评估过程中在两国之间多次往返。

      近年来，韩国方面提出“希望在更近地点建立研发基地”的诉求。尤其是在新冠疫情下，入境限制和隔离措施成为沉重负担。

  开发费增至10年前的2.3倍

      背后存在半导体技术的难度上升。电路线宽的微细化在量产阶段已达到3nm，接近极限。制造工序也需要进一步升级，无法靠近客户的设备企业将在竞争中被淘汰。尖端半导体企业形成垄断化，这也是各设备企业容易在附近建设基地的原因之一。