NIKKEI——日本经济新闻中文版

从专利看日本半导体光刻技术有多强

在半导体光刻方面，东京电子和SCREEN两家日企掌握涂布显影设备的全球超9成份额。从光刻的前后处理领域的专利来看，日本国籍的申请者稳定在4成左右。台积电也在崛起…… 

日本半导体重振的关键——后工序

半导体微细化越来越难，集成度每18个月翻番的“摩尔定律”已成为过去。此时，3D堆叠技术等“后工序”变得重要，日本在这一领域领先。即使是台积电，要实现最尖端的3D堆叠技术，也离不开日企……

半导体成战略物资，梳理日本优势

半导体产业在经济和军事两方面都成为战略物资，保持半导体产业的竞争力已成为主要国家的课题。日本在半导体领域的份额仅占约9％，但在相关设备和材料领域，不少产品占有最高份额……