NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　东芝日前开发出了能瞬间将微细瑕疵和异物转变为图像的可视化检查技术。可以识别通过肉眼和此前的图像检查难以识别的深度仅数微米（微米为100万分之1米）左右的微细瑕疵。应用了通过开发荧光灯等照明设备而积累的检出散乱光的技术。设想用于相机等精密机器的零部件品质检查等。东芝将提高检查灵敏度，2020年度以后实现实用化。

可识别以此前检查使用的图像（左）难以识别的瑕疵，利用东芝的新技术拍摄的深约2微米的瑕疵（右）

　　即便是提高图像分辨率也难以识别的极小瑕疵，该技术也可发现。通过结合适于捕捉光散乱的镜头和借助色彩识别光散乱角度的滤波器得以实现。利用了光反射时瑕疵在某些部分发生散乱的现象。可用不同色彩分别拍摄，例如光滑的部分用蓝色，瑕疵的部分用红色等。

　　这种技术除了能用于检查以每秒数米速度移动的生产线上的物品外，还能用于检查运行中的设备的磨损状况等。针对有数微米左右的瑕疵就事关品质的相机镜头，有望在其工厂等处得到利用。