NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　日本荏原将加强半导体制造设备的生产体制。将在位于神奈川县和熊本县的工厂推进生产线自动化和扩建，增产该公司全球份额较高的“干式真空泵”和“CMP设备”。以此应对数据通信增长带来的全球半导体需求增加。荏原计划2021年度使精密和电子业务的营业收入比2020年度增加21％，达到1700亿日元。

　　在制造干式真空泵的神奈川县藤泽市的工厂，此前以人力完成的作业将通过引进机器人等实现自动化，产能增至3倍。已自动化的生产线将在2021年8月之前投入运行。在位于熊本县的CMP设备工厂，也把生产线从现在的2条增至3条，产能增至1.5倍，具体产量并未公布。

荏原的CMP设备（左）和干式真空泵（右）

　　荏原还将增加维修基地。4月之前在德国德累斯顿使干式真空泵的维修工厂投入运行。此外，还正在中国的安徽省合肥市建设干式真空泵的维修工厂，2021年夏季将启动运行。

　　干式真空泵需要每半年进行1次大修，因此需要加强维修体制。随着半导体需求的增加，制造设备的开工率也在提高，干式真空泵的维修需求进一步增加。荏原在全球约有10处维修基地，今后将根据需求增加基地。