NIKKEI——日本经济新闻中文版

　　日本国内最大工业气体厂商大阳日酸将在中国新建特殊气体工厂，生产用于半导体制造工序的气体“乙硼烷”。新工厂预定2019年投入运行，投资额预计为30～40亿日元。中国今后有望相继新建半导体工厂，用气需求将出现增长。

　　大阳日酸在江苏省扬州的新工厂生产的是特殊气体乙硼烷。此外，该工厂还具备提纯“氟甲烷”等气体并供货的能力。中国将成为大阳日酸建立面向半导体的气体生产基地的第4个国家。

　　目前，中国有很多半导体工厂建设计划，到2020年预计有10多处投入运行。大量消费乙硼烷的积层型NAND闪存的生产被认为将增加，大阳日酸计划把在中国市场的乙硼烷份额提高至50％以上。