由日本电子零部件企业田村制作所和AGC等出资成立的Novel Crystal Technology在全球首次成功量产以新一代功率半导体材料“氧化镓”制成的100毫米晶圆。将于2021年内开始供应晶圆。客户企业可以用支持100毫米晶圆的现有设备制造新一代产品，有效运用过去投资的老设备。

 

Novel Crystal Technology量产的100毫米氧化镓晶圆

 

       功率半导体是用于铁路和工业设备等大电流控制用途的零部件，还有望在纯电动汽车（EV）领域扩大用途。在日本政府的半导体战略中，功率半导体被视为日本企业保持国际竞争力的领域之一。

 

       功率半导体材料目前处于过渡期。现在的主流材料是硅，但围绕损耗更小的电力控制，碳化硅（SiC）和氧化镓等材料的开发不断推进。此次成功实现晶圆量产化的氧化镓有望在相关竞争中占据优势。据悉氧化镓晶圆的价格比碳化硅晶圆低，而且可以更加高效地控制电力。

 

       氧化镓成功量产对客户企业也有好处。由于可以用支持100毫米晶圆等的现有设备来生产半导体，能够控制住设备投资。日本半导体厂商拥有过多的老式生产设备，这些设备有望得到有效利用。此外，Novel Crystal Technology还计划2023年供应150毫米晶圆。

 

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