日本半导体制造设备企业相继展开在客户附近新建和扩建研发基地的动向。日立高新技术（Hitachi High-Technologies）将在美台韩这3个国家和地区投入数百亿日元。这是因为半导体制造技术的难度正在逐年提高，日趋需要与美国英特尔等尖端半导体企业更加密切地展开联合开发。另一方面，各设备企业的投资负担随之增加，将不得不通过体力决出胜负。

 

    回应英特尔等“三巨头”的要求

   

      “工厂的开工率能在多大程度上提高？”“希望进一步加快开发”，日立高新技术在美国西部俄勒冈州建设了最新的研发设施。以英特尔为代表的客户每天赶来进行磋商。

 

日立高新技术在美国建立的新基地

 

      该设施2022年秋季投入运行。集中和扩建了该州内原有的3处研发基地。客户可自由使用日立高新技术推出的形成半导体电路的设备以及电路检测的演示机。与英特尔的尖端半导体工厂距离约10分钟车程。

   

     大型半导体厂商经常描绘5～6年后的技术愿景。包括电路线宽的微细化以及将芯片纵向堆叠起来的三维结构等。日立高新技术以约300名工程师等的体制调查需求，致力于新设备的开发和技术改良。

   

      不仅是美国。在拥有世界最大半导体代工厂商台积电（TSMC）的台湾，日立高新技术将在2023年度内扩建研发基地，还将在三星电子等所在的韩国新建基地。将以强大的阵容服务于作为最重要客户的“半导体三巨头”。

   

  

      在3个国家和地区的投资额预计达到数百亿日元。“与客户密切合作、不断磨练技术的重要性正在提高”，在日立高新技术负责半导体制造设备业务战略的北条穣如此表示。

   

      日立高新技术的主要研发基地位于日本茨城县和山口县。从海外的客户处将晶圆的半导体基板运到日本国内，通过设备进行试制，这需要约数周时间。由于晶圆包含机密信息，国际间运输等非常麻烦。

   

      涉足晶圆成膜设备等的KOKUSAI ELECTRIC正在韩国西部的平泽扩建基地，力争2023年内投产。将投入数十亿日元扩建清洁车间，使之具备全面的开发功能。

KOKUSAI ELECTRIC打算使之具备全面的开发功能的韩国工厂

 

      在乘车1小时以内的距离，汇聚了三星和SK海力士的工厂。此前将晶圆运到KOKUSAI的富山县的研发基地，在开发和评估过程中在两国之间多次往返。

   

      近年来，韩国方面提出“希望在更近地点建立研发基地”的诉求。尤其是在新冠疫情下，入境限制和隔离措施成为沉重负担。

 

  开发费增至10年前的2.3倍

 

      背后存在半导体技术的难度上升。电路线宽的微细化在量产阶段已达到3nm，接近极限。制造工序也需要进一步升级，无法靠近客户的设备企业将在竞争中被淘汰。尖端半导体企业形成垄断化，这也是各设备企业容易在附近建设基地的原因之一。

 

   

       日本最大半导体设备厂商Tokyo Electron也将在2023～2025年在台积电进驻的熊本、山梨和宫城等3县新建开发设施。

 

      另一方面，人工费等尖端设备的开发负担正在加重。预计制造设备的日本国内5家主要企业的2022财年（截至2023年3月）研发费用合计约3000亿日元，达到10年前的2.3倍。

 

 

      目前，半导体行情低迷，但如果推迟研究开发，“将在新一代产品上被其他竞争企业夺走份额”（一家制造设备大型企业）。与美国应用材料公司等展开激烈竞争的Tokyo Electron表示，在截至2026财年的5年里投入总计1万亿日元以上的研发费用。这是比过去5年增加7成的水平。

 

       英国调查公司Omdia的南川明针对设备行业表示，“如果停止研发投资，将输给竞争对手，导致市场份额下降和重组”。半导体需求中长期有望增长，但如果实际需求超预期下降，将导致盈利恶化。能否实现足以回收日趋增加的研发费用的营收增长成为课题。

 

 担忧对华出口管制

 

      半导体在全球作为战略物资的重要性提高。围绕尖端产品，美国2022年10月加强了针对中国的技术和制造设备的出口管制。设备产业有优势的日本和荷兰也打算追随，今年1月三国高官在美国进行了磋商。

 

      中国在尖端半导体的开发方面属于落后国家，日本的各设备企业新建全面研发基地的趋势并未出现。在中国制造的半导体大部分为电路线宽较大的非尖端产品。用于电动马达控制的功率半导体等很多。

  

     另一方面，对日本的各设备企业来说，中国市场的影响巨大。日本半导体制造设备协会的数据显示，在2021年度半导体制造设备的对海外营业收入中，中国最多，达到33％。2020年度中国在出口伙伴国和地区中首次跃居首位。

 

      针对用于非尖端产品的设备，日本设备企业计划今后继续出口。关于纳入限制对象的面向尖端产品的设备占在华营业收入的比率，市场相关人士认为行业整体“约为1～2成”，如果政府的出口管制长期持续，对日本各设备企业将造成沉重打击。

 

   日本经济新闻（中文版：日经中文网）松浦奈美

    

版权声明：日本经济新闻社版权所有，未经授权不得转载或部分复制，违者必究。