在用于5G和自动驾驶的高性能半导体需求持续扩大的同时，最尖端半导体的投资成本也越来越高。东芝旗下的纽富来（NuFlare Technology）是一家大型电子束掩膜光刻设备制造商，其产品可在光掩膜上刻画出精细图案。关于市场需求动向和业务战略，日本经济新闻（中文版：日经中文网）采访了纽富来社长杉本茂树。

  

NuFlare Technology将扩充光刻设备的产品阵容

  

      记者：请介绍一下最尖端光刻设备的研发状况。

 

      杉本茂树：我们正在研究5纳米线宽、26万束激光的多束光刻设备，但第一代产品很困难。想让26万束激光进行高速开闭，但不能稳定运行。本公司没有将特殊的大规模集成电路（LSI）与MEMS组合起来的技术，于是让母公司东芝来研发。

 

      在我们的研发迟迟没有进展期间，客户的需求已经从5纳米升级到3纳米。现在正进行下一代设备的研发，在技术上与第一代有重叠的部分。虽然研发时费尽周折，但对下一代设备有帮助。

 

      记者：从4月起成为东芝的全资子公司，带来了什么效果吗？

 

      杉本茂树：虽然没有什么颠覆性的变化，但向母公司提出什么请求时，回应变得更快了。研发体制也由25人扩充到180人。

 

      记者：会继续走精细化的道路吗？

 

      杉本茂树：追求精细化是迄今为止的主要发展方向，但线宽不那么精细的器件市场也在扩大。最尖端的半导体需要庞大的研发经费，能进行巨额设备投资的企业并不多。与此同时，半导体的市场基础在扩大。线宽上落后1～2代的设备的需求也在提高，我们将通过应对各种各样的线宽来满足客户的需求。

  

 

      记者：扩大设备的产品阵容，不会导致成本增加吗？

 

      杉本茂树：包括传统机型在内，我们正在统一配件。此前根据市场动向，只要生产2种机型就可以了，但今后将增加到5～6个机型。和分别设计相比，生产效率有所提高，售后服务也更为方便，并能缩短产品的生产交货周期。

 

纽富来社长杉本茂树

  

      多束设备在安装空间上和本公司此前拥有较高市场份额的单束设备几乎完全一样。不仅可以方便地用新设备替换旧设备，客户也无需改变光刻设备的布局。

 

      记者：受新冠病毒疫情影响，最尖端的半导体市场有什么变化？

 

      杉本茂树：客户的需求基本没有变化，都表示一旦解除入境限制，希望随时都想引进设备。甚至还有客户生气地问“你们究竟什么时候才能来”。

 

      此次深切感受到海外售后体制的脆弱性。以往一发生问题，都是从日本派人过去。目前正考虑在海外安排一定程度的人员。比起从日本派遣专门技术人员也许会花一点时间，但总比一直没法从日本派人、项目处于停顿要好一些。

 

      记者：中国要加强尖端半导体的国产化，这是不是一个机会？

 

      杉本茂树：中国需求的增长是完全有可能的。中国企业如果不能从美国购买制造设备，对日本产品的需求预计会增加，但美国很可能会表达不满。

  

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